Alumina-gebaseerde poreuse keramiese vakuumkop vir dun wafelhantering
St.Cera se alumina-gebaseerde poreuse klauwplaat word vervaardig uit 99.6% hoë-suiwerheid Al₂O₃ met beheerde oop porositeit van 30–45% en 'n eenvormige poriegrootte wat wissel van 10 tot 50 μm. Anders as gegroefde klauwplate, bied die poreuse oppervlak verspreide vakuum oor die hele wafer-agterkant, wat randmerkies uitskakel en sagte vashou van ultra-dun (≤100 μm) of kromgetrekte wafers moontlik maak. Die materiaal bied buigsterkte ≥250 MPa en termiese stabiliteit tot 400°C in lug.
Spesifikasies(gebaseer op 99.6% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.6% Alumina (Wit) |
| Porositeit | 30–45% (verstelbaar) |
| Gemiddelde Poriegrootte | 10–50 μm |
| Buigsterkte | ≥250 MPa |
| Digtheid | 3.88 g/cm³ |
| Platheid (meer as 200 mm) | ≤5 μm |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 400°C (lug) |
| Oppervlakafwerking | Gevleuel (Ra ≤0.8 μm) |
Toepassings:
- · Dun wafer (≤50 μm) agterkant slyp
- · Vervormde wafermontering vir blokkiessny
- · Gesinguleerde matrysopnemer
- · Hantering van glas substraat
Vervaardiging:
Poeier gemeng met porievormers → isostatiese persing → sintering teen 1600°C → oorlapping tot finale dikte. Elke klauwplaat word vloeigetoets vir vakuumuniformiteit (drukafwyking <5%) en geïnspekteer vir poriegrootteverspreiding (SEM).
Voordele bo konvensionele klauwplate:
- · Geen wafer agterkant merk of matrys verskuiwing nie
- · Hou wafers met 'n boog tot 500 μm
- · Selfreinigende oppervlak (porieë weerstaan verstopping)
- · Eenvormige ondersteuning elimineer plaaslike stres
Caanpassing:
Ronde of vierkantige vorms, deursnee 100–450 mm. Randseëlring beskikbaar vir gesoneerde vakuumbeheer.
Versoek 'n monster vir u spesifieke wafergrootte.
