Teflonbedekte Keramiese Eindeffektor – Nie-kleefoppervlak vir sensitiewe wafelhantering
St.Cera se Teflon (PTFE)-bedekte keramiek-eindeffektor kombineer 'n hoësterkte-alumina-substraat met 'n eenvormige, lae-wrywing PTFE-laag (dikte 15–30 μm). Die laag bied 'n uiters lae wrywingskoëffisiënt (≤0.1), uitstekende chemiese weerstand en kleefvrye eienskappe, wat wafer-adhesie voorkom en agterkant-kontaminasie uitskakel. Die onderliggende keramiek-substraat (99.8% Al₂O₃) bied hoë buigsterkte (361–1000 MPa), slytasieweerstand en termiese stabiliteit tot 260°C (laaglimiet). Hierdie eindeffektor is ideaal vir die hantering van delikate, dun of klewerige wafers (bv. na fotoresist-bedekking of chemiese prosesse).
Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃-substraat met PTFE-laag):
| Eiendom | Waarde |
| Substraatmateriaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Bedekkingsmateriaal | PTFE (Teflon) |
| Laagdikte | 15–30 μm |
| Wrywingskoëffisiënt (Bedek) | ≤0.1 |
| Substraat Buigsterkte (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substraathardheid (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substraatdigtheid | 3.93 g/cm³ |
| Maksimum bedryfstemperatuur (laaglimiet) | 260°C |
| Oppervlakruheid (voor bedekking) | Ra ≤0.4 μm |
| Diëlektriese sterkte (substraat) | 15×10⁶ V/m |
Let wel: PTFE-laag beperk die maksimum temperatuur tot 260°C; vir hoër temperatuur toepassings, oorweeg onbedekte keramiek of ander bedekkings.
Toepassings:
- · Hantering van wafers na fotoresistbedekking (klewerige oppervlaktes)
- · Oordrag van dun of brose wafels (voorkom vassit)
- · Halfgeleierinspeksie- en metrologie-instrumente
- · Skoonkamer-outomatisering waar deeltjiekontaminasie geminimaliseer moet word
Vervaardigingsproses:
Keramiese substraat gesinter en presisie geslyp → oppervlakverruwing (plasma-ets of gritstraal) → PTFE-spuitbedekking → hitte-uitharding teen 380°C → finale inspeksie. Elke eindeffektor word nagegaan vir laagdikte (wervelstroom), adhesie (dwarssnytoets ASTM D3359) en wrywingskoëffisiënt.
Gehaltebeheer:
100% visuele inspeksie vir gaatjies of borrels; laagdikte-eenvormigheid binne ±5 μm; geen delaminasie na 90°-buigtoets op getuiekoepon nie. Dimensionele kontrole volgens OEM-toleransie (lengte ±0.05 mm, platheid ≤0.1 mm).
Voordele bo onbedekte of ander bedekkings:
- · Nie-klewerige oppervlak verhoed waferhegting en breek
- · Laagste wrywingskoëffisiënt onder keramiekbedekkings
- · Uitstekende chemiese weerstand (sure, basisse, oplosmiddels)
- · Verminder deeltjiegenerering deur materiaaloordrag te voorkom
Beperkings (opmerkings oor materiaalafwyking):
Die PTFE-laag is nie afgelei van die verskafde materiaal-eienskapstabelle (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) nie. Die substraat-eienskappe volg streng die verskafde datablad (99.8% Al₂O₃). Bedekkingseienskappe is gebaseer op industrie-standaard PTFE-spesifikasies, aangesien geen bedekkingsdata verskaf is nie. Vir toepassings wat 260°C oorskry, word 'n onbedekte keramiek-eindeffektor aanbeveel.*
Aanpassing:
Beskikbaar in lengtes 150–1500 mm, puntvorms (randgreep, Bernoulli, plat), monteerflenspatrone volgens OEM-tekening. Gedeeltelike bedekking (slegs kontakareas) of volle bedekking opsioneel.
Versoek 'n monster vir adhesie- en wrywingstoetsing.
