Gekombineer met die omvattende prestasievoordele van tradisionele Al2O3- en BeO-substraatmateriale, is aluminiumnitried (AlN)-keramiek, wat hoë termiese geleidingsvermoë het (monokristal se teoretiese termiese geleidingsvermoë is 275 W/m▪k, polikristal se teoretiese termiese geleidingsvermoë is 70~210 W/m▪k), lae diëlektriese konstante, termiese uitbreidingskoëffisiënt wat ooreenstem met enkelkristalsilikon, en goeie elektriese isolasie-eienskappe, 'n ideale materiaal vir stroombaansubstrate en verpakking in die mikro-elektronika-industrie. Dit is ook 'n belangrike materiaal vir hoëtemperatuur-strukturele keramiekkomponente as gevolg van die goeie hoëtemperatuur-meganiese eienskappe, termiese eienskappe en chemiese stabiliteit.
Die teoretiese digtheid van AlN is 3.26g/cm3, die MOHS-hardheid is 7-8, die kamertemperatuurweerstand is groter as 1016Ωm, en die termiese uitbreiding is 3.5×10-6/℃ (kamertemperatuur van 200℃). Suiwer AlN-keramiek is kleurloos en deursigtig, maar hulle kan verskillende kleure hê soos grys, gryswit of liggeel, as gevolg van die onsuiwerhede.
Benewens hoë termiese geleidingsvermoë, het AlN-keramiek ook die volgende voordele:
1. Goeie elektriese isolasie;
2. Soortgelyke termiese uitbreidingskoëffisiënt met silikonmonokristal, beter as materiale soos Al2O3 en BeO;
3. Hoë meganiese sterkte en soortgelyke buigsterkte met Al2O3-keramiek;
4. Matige diëlektriese konstante en diëlektriese verlies;
5. In vergelyking met BeO2, word die termiese geleidingsvermoë van AlN-keramiek minder deur temperatuur beïnvloed, veral bo 200 ℃;
6. Hoë temperatuurweerstand en korrosiebestandheid;
7. Nie-giftig;
8. Word toegepas op die halfgeleierbedryf, chemiese metallurgiebedryf en ander industriële velde.
Plasingstyd: 14 Julie 2023