Alumina-gebaseerde standaard vakuumklauwplaat – hoë rigiditeit vir presisiebewerking
Hierdie alumina-gebaseerde vakuumklauwplaat word vervaardig van 99.8% Al₂O₃, wat 'n gladde, nie-poreuse oppervlak met pasgemaakte vakuumgroefpatrone bied. Dit bied uitsonderlike rigiditeit (Young se modulus 380 GPa) en platheid (≤3 μm), wat dit ideaal maak vir presisie-slyp, oorlapping en blokkiessny van halfgeleierwafers en optiese komponente. Die materiaal se hoë termiese geleidingsvermoë (32 W/m·k) verseker temperatuuruniformiteit tydens verwerking.
Spesifikasies(gebaseer op 99.8% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Young se Modulus | 380 GPa |
| Termiese geleidingsvermoë | 32 W/m·k |
| Platheid | ≤3 μm (oor 200 mm) |
| Oppervlakruheid (klauwkant) | Ra ≤0.4 μm |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 800°C |
Toepassings:
- · Wafer-agterkantmaling (grof en fyn)
- · Presisie-sny van bros materiale
- · Oorlapping van keramieksubstrate
- · Optiese lenspolering
Vervaardiging:
Presisie-oorlapping van beide kante → diamantgroewe (opsioneel) → randafronding → ultrasoniese skoonmaak → 100% platheidsinspeksie met laserinterferometer.
Avoordele:
- · Vaste ondersteuning verminder defleksie onder las
- · Geen deeltjiegenerering van poreuse struktuur nie
- · Maklik om skoon te maak (oplosmiddel-afvee-versoenbaar)
- · Vakuumgroewe aanpasbaar (konsentries, radiaal, pasgemaakte patrone)
Beskikbare Groottes:
Rond: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; vierkantig/reghoekig op aanvraag.
Ons bied ook metaalgebaseerde weergawes vir hoër meganiese sterkte.
