Alumina Vakuumkop vir Presisie Sny en Slyp
St.Cera se alumina-vakuumklauwplaat word vervaardig van 99.8% hoë-suiwerheid Al₂O₃ met presisie-bewerkte vakuumgroewe. Ons presisie-slypvermoë bereik 'n platheid van 0.003 mm en 'n parallelisme van 0.002 mm, wat krommingvrye waferfiksasie tydens blokkiessny, agterkantslyp en inspeksie verseker. Die materiaal bied hoë buigsterkte (361 MPa), hardheid (16 GPa) en termiese stabiliteit tot 800°C. Beskikbaar in ronde formate tot 600 mm buitenste deursnee (OD) en reghoekige vorms tot 1500 mm lengte. Vakuumgroewe word spesiaal ontwerp (konsentries, radiaal of roosterpatrone) om aan spesifieke prosesvereistes te voldoen. Elke klauwplaat word geïnspekteer met 'n laserinterferometer en word voorsien van 'n platheidsverifikasieverslag.
Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃& St.Cera vervaardigingsvermoëns):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Buitenste deursnee (maks) | 600mm |
| Dikte (maks) | 100mm |
| Lengte (maks) | 1500mm |
| Platheid | 0.003mm |
| Parallelisme | 0.002mm |
| Oppervlakafwerking | Ra0.1 |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 800°C |
Toepassings:
- · Wafels sny en krap (200mm/300mm en groter)
- · Agterkantse slyp van dun wafers
- · Optiese inspeksie en peiling
- · Groot substraathantering
Vervaardigingspresisie:
- · Reguitheid: 0.005mm
- · Loodregheid: 0.005mm
- · Rondheid: 0.002mm
- · Konsentrisiteit: 0.01mm
