12-duim alumina-vakuumkop vir 300 mm waferverwerking
St.Cera se 12-duim vakuumklauwplaat is presisie-ontwerp van 99.8% hoë-suiwerheid alumina (Al₂O₃) vir 300 mm waferhantering. Die klauwplaat het 'n fyn gegroefde oppervlak (groefwydte 0.5–1.0 mm, steek 2–3 mm) om eenvormige vakuumverspreiding oor die hele 300 mm-deursnee te verseker. Platheid word binne 5 μm gehandhaaf, wat krommingvrye waferfiksasie tydens sny, agterkantslyp en inspeksie moontlik maak. Die materiaal se hoë buigsterkte (361 MPa) en hardheid (16 GPa) waarborg langtermyn dimensionele stabiliteit, selfs onder herhaalde vakuumsiklusse.
Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Deursnee | 300 mm (12 duim) |
| Materiaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Platheid (meer as 300 mm) | ≤5 μm |
| Groefwydte | 0.5–1.0 mm |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 800°C |
| Diëlektriese Sterkte | 15×10⁶ V/m |
Toepassings:
300mm waferblokkies sny en kras
Slyp van die agterkant van die wafer (dun waferondersteuning)
Optiese inspeksie en peiling
Tydelike bindings-/ontbindingsklemme
Vervaardiging:
CNC-geslyp en oorvleuel tot finale platheid, gegroef met diamantwiele, ultrasonies skoongemaak en verpak in Klas 100-skoonkamer. Elke klauwplaat word 100% geïnspekteer vir platheid (laserinterferometer) en groefdiepte (profilometer).
Voordele:
Lae deeltjiegenerering (≤0.05 deeltjies/cm²)
Chemies inert teenoor oplosmiddels en sure
ESD-veilige oppervlak (weerstand >10¹³ Ω·cm)
Pasgemaakte vakuumgatpatrone en agterkantpoorte beskikbaar.
