Poreuse Keramiese Vakuumkop vir Vervormde Wafelhantering
St.Cera se poreuse keramiek-klauwplaat is vervaardig uit hoë-suiwerheid alumina met 'n eenvormige oop porositeit van 30–45% en poriegroottes wat wissel van 10 tot 100 μm. Anders as konvensionele gegroefde klauwplate, bied die poreuse oppervlak verspreide vakuum oor die hele agterkant van die wafer, wat kromgetrekte, dun of enkelvoudige wafers effektief vashou sonder randopheffing of breek. Die sagte vakuum (verstelbaar via 'n restriktor) voorkom ook agterkantmerkies.
Spesifikasies(gebaseer op 99.6% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Porositeit | 30–45% |
| Gemiddelde Poriegrootte | 10–100 μm (kiesbaar) |
| Buigsterkte | ≥250 MPa |
| Platheid (meer as 300 mm) | ≤5 μm |
| Oppervlakafwerking | Gevleuel (Ra 0.8 μm) |
| Maksimum Vakuumvlak | -80 kPa |
| Bedryfstemperatuur | 400°C (lug), 600°C (inert) |
| Materiaal | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ of SiC |
Toepassings:
Dun wafer (≤50 μm) agterkant slyp
Vervormde wafermontering vir blokkiessny
Gesinguleerde matrysopname vanaf band
Hantering van glaspaneel
Vervaardiging en kwaliteit:
Keramiekpoeier gemeng met organiese porievormers → gepers → gesinter → oorvleuel tot finale dikte. Elke klauwplaat word vloei-getoets vir vakuumuniformiteit (≤5% afwyking) en geïnspekteer vir poriegrootteverspreiding (SEM). Platheid gemeet met laserinterferometer.
Voordele bo gegroefde klauwplate:
Geen waferrandmerk of matrysverskuiwing nie
Hou kromgetrekte wafers (tot 500 μm boog)
Elimineer verstopping van vakuumgate
Selfnivellerende ondersteuning vir dun substrate
Aanpassing:
Ronde of reghoekige vorms, grootte tot 600 mm. Ons kan randverseëlringe of sonevakuumafskortings aanwend. Metaalgesteunde weergawes beskikbaar vir hoë-styfheidsvereistes.
Versoek 'n monster vir u wafergrootte- en kromtrekkingstoets.
