Keramiese Ondersteunpen vir Halfgeleierproses-toebehore
St.Cera se keramiek-ondersteunpenne (ook bekend as hefpenne of ondersteuningspenne) word in halfgeleierproseskamers gebruik om wafers of substrate tydens hantering, verhitting of verkoeling te lig. Hierdie penne, vervaardig van 99.8% alumina of silikonnitride, bied hoë druksterkte, termiese stabiliteit en chemiese weerstand. Die hemisferiese of plat puntontwerp voorkom dat wafers gekrap word.
Spesifikasies(Alumina 99.8%):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.8% Al₂O₃ of Si₃N₄ |
| Lengte | 10 – 100 mm |
| Deursnee | 1 – 10 mm |
| Puntvorm | Plat, halfsferies, puntig |
| Druksterkte (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimum bedryfstemperatuur (Al₂O₃) | 1600°C |
| Oppervlakafwerking | Gevleuel (Ra ≤0.4 μm) |
| Toleransie op Diameter | ±0.01 mm |
Toepassings:
Ligpenne in CVD/PVD-kamers
Steunpenne vir warmplaatbak
Ondersteuningsstrukture vir sondekaarte
Kwartsoondbootsteune
Vervaardiging:
Presisie-sentrumlose slyp van OD → diamantslyp van puntprofiel → ultrasoniese skoonmaak → 100% dimensionele inspeksie.
Gehaltebeheer:
CMM vir lengte/deursnee, optiese vergelyker vir puntradius, lastoetsing om druksterkte te verifieer (ewekansige monster per lot). Geen ferromagnetiese kontaminasie (geverifieer met magneet).
Voordele bo metaal- of kwartspenne:
5 keer langer lewensduur as vlekvrye staal
Geen metaalbesoedeling in proseskamer nie
Hoër temperatuurvermoë as kwarts (1600°C teenoor 1100°C)
Nie-klewerige oppervlak (verminderde deeltjie-adhesie)
Aanpassing:
Veelvuldige puntprofiele, geskroefde basis of taps toelopende as.
Ons verskaf ook SiC-penne vir ekstreme plasma-omgewings.
