Hoë-Suiwerheid Alumina Keramiek Eindeffektor vir Waferhanteringsrobotte

St.Cera se alumina keramiek eindeffektor word presisie gemasjineer uit 99.8% hoë-suiwerheid Al₂O₃ met behulp van gevorderde 5-as CNC-slyptoerusting. Ons vervaardigingsvermoëns sluit presisie-slypmasjiene en CNC-bewerkingsentrums in, wat komplekse geometrieë met hoë presisie moontlik maak. Die eindeffektor beskik oor 'n dun profiel (so dun as 1.5 mm) met 'n taps toelopende voorrand vir gladde waferinvoeging. Die materiaal bied hoë styfheid (Young se modulus 380 GPa), uitstekende slytasieweerstand en termiese stabiliteit tot 800°C. Elke eenheid word presisie geslyp om 'n platheid van 0.003 mm, parallelisme van 0.002 mm en oppervlakafwerking van Ra0.1 te bereik, wat konsekwente waferkontak en deeltjievrye werking in halfgeleier FAB-omgewings verseker. Beskikbaar in lengtes van 150 mm tot 450 mm, met pasgemaakte puntgeometrieë (randgreep, Bernoulli, plat) en monteringsflense om by OEM-robotte te pas. Oppervlakafwerkingsopsies sluit in oorlappende, gepoleerde of ESD-dissipatiewe bedekking (10⁶–10⁹ Ω/vk).

Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃& St.Cera vervaardigingsvermoëns):

Toepassings:

• · Waferoordrag in vakuum- en atmosferiese robotte
• · FAB outomatisering eindeffektors vir 200mm/300mm wafers
• · Hantering van dun wafers (met ESD-opsie)

Vervaardigingsvermoëns:
Ons presisie-slypmasjiene en CNC-bewerkingsentrums maak die produksie van komplekse keramiekkomponente moontlik met:

• · Maksimum bewerkingslengte: 1500 mm
• · Maksimum buitenste deursnee: 600 mm
• · Minimum binnediameter: 0.2 mm
• · Maksimum dikte: 100 mm

Gehaltebeheer:
Reguitheid 0.005 mm, loodregteheid 0.005 mm, rondheid 0.002 mm, parallelisme 0.002 mm, konsentrisiteit 0.01 mm geverifieer deur CMM. Elke eenheid word ultrasonies skoongemaak en Klas 100 skoonkamerverpak.