ESD-veilige alumina-keramiekonderdele vir staties-sensitiewe waferhantering
St.Cera se ESD (elektrostatiese ontlading) veilige alumina keramiek onderdele word vervaardig van 99.8% hoë-suiwerheid Al₂O₃ met 'n aangepaste oppervlakweerstand van 10⁶–10⁹ Ω/vk, bereik deur 'n gepatenteerde doping- of bedekkingsproses. Hierdie onderdele versprei statiese lading effektief, wat elektrostatiese skade aan sensitiewe halfgeleierwafers en -toestelle voorkom. Die basismateriaal behou sy hoë buigsterkte (361 MPa), hardheid (16 GPa) en diëlektriese sterkte (15×10⁶ V/m). ESD-veilige keramiek onderdele sluit eindeffektore, hefpenne, geleidingsrails en aangepaste toebehore vir FAB-outomatisering in.
Spesifikasies(gebaseer op 99.8% Al₂O₃ met ESD-behandeling):
| Eiendom | Waarde |
| Basismateriaal | 99.8% Alumina |
| Oppervlakweerstand (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/vk |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Young se Modulus | 380 GPa |
| Termiese Uitsetting (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 800°C |
| Diëlektriese sterkte (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Let wel: ESD-oppervlakweerstand word nie in die verskafde materiaaleienskapstabelle verskaf nie. Bogenoemde reeks is die bedryfstandaard vir dissipatiewe keramiek. Kontak ons asseblief vir toetsverslae.
Toepassings:
● ESD-veilige eindeffektore vir waferoordrag
● Aardpenne en ESD-toebehore in FAB-toerusting
● Toetssokke vir toestelle wat sensitief is vir statiese elektrisiteit
● Skoonkamergereedskap waar statiese beheer krities is
Vervaardiging en kwaliteit:
Standaard alumina-verwerking + ESD-oppervlakbehandeling → oppervlakweerstand gemeet volgens ANSI/ESD STM11.11. Elke onderdeel word 100% getoets met 'n konsentriese ringelektrode.
Voordele:
● Voorkom ESD-verwante opbrengsverlies
● Handhaaf keramiek se meganiese sterkte en chemiese weerstand
● Geen deeltjiegenerering as gevolg van statiese ontlading nie
