bladsybanier

Hoë-suiwerheid alumina keramiek seëlring vir hoë-temperatuur kamer verseëling

Hoë-suiwerheid alumina keramiek seëlring vir hoë-temperatuur kamer verseëling

Kort beskrywing:

St.Cera se keramiek seëlring is ontwerp as 'n alternatief vir polimeer O-ringe in uiterste omgewings waar elastomere afbreek. Vervaardig van 99.8% hoë-suiwer alumina (Al₂O₃), word hierdie stewige seëlring gebruik in statiese seëltoepassings - tipies gepaard met 'n sagte metaal- of grafietpakking - om betroubare vakuum- of gasinsluiting te bied by temperature tot 800°C en in aggressiewe plasma- of chemiese omgewings. Die materiaal bied geen uitgassing, hoë druksterkte (onderliggende buigsterkte 361 MPa), en chemiese traagheid (bestand teen halogene, sure en alkalieë behalwe HF). Presisie-oorlappende seëloppervlaktes (platheid ≤5 μm, oppervlakruheid Ra ≤0.2 μm) verseker lekdigte kontak met bypassende metaal- of keramiekkomponente.


Produkbesonderhede

Produk-etikette

St.Cera se keramiek seëlring is ontwerp as 'n alternatief vir polimeer O-ringe in uiterste omgewings waar elastomere afbreek. Vervaardig van 99.8% hoë-suiwer alumina (Al₂O₃), word hierdie stewige seëlring gebruik in statiese seëltoepassings - tipies gepaard met 'n sagte metaal- of grafietpakking - om betroubare vakuum- of gasinsluiting te bied by temperature tot 800°C en in aggressiewe plasma- of chemiese omgewings. Die materiaal bied geen uitgassing, hoë druksterkte (onderliggende buigsterkte 361 MPa), en chemiese traagheid (bestand teen halogene, sure en alkalieë behalwe HF). Presisie-oorlappende seëloppervlaktes (platheid ≤5 μm, oppervlakruheid Ra ≤0.2 μm) verseker lekdigte kontak met bypassende metaal- of keramiekkomponente.

 

Spesifikasies(gebaseer op 99.8% AlO):

Eiendom Waarde
Materiaal 99.8% Alumina (Ivoor)
Digtheid 3.93 g/cm³
Waterabsorpsie 0%
Buigsterkte 361 MPa
Druksterkte (geskat.) >2000 MPa
Vickers Hardheid 16 GPa
Termiese Uitsetting (25–1000°C) 7.2×10⁻⁶/℃
Maksimum bedryfstemperatuur 800°C (lug), 1600°C (inert)
Oppervlakafwerking (verseëlingsvlak) Ra ≤0.2 μm (oorlappend)
Platheid (per 25 mm) ≤5 μm
Helium Lek Tempo <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (met gepaste pakking)

 

Toepassings:

  • · Statiese seëls vir halfgeleierproseskamers (CVD, PVD, ets)
  • · Hoëtemperatuur-oonddeurseëls
  • · Vakuumdeurvoerflense
  • · Sluiting van chemiese reaktorvate

 

Vervaardigingsproses:

Isostatiese persing → sintering teen 1600°C → presisie dubbelsydige oorlapping om ultra-plat, gladde seëlvlakke te verkry → randafwerking → ultrasoniese skoonmaak. Elke ring word 100% lekgetoets op 'n heliumlekdetektor met 'n standaard metaalpakking.

 

Gehaltebeheer:

  • · CMM dimensionele kontrole (ID, OD, dikte, parallelisme)
  • · Oppervlakprofielometer vir Ra en golwing
  • · Platheidsmeting met behulp van optiese plat
  • · Heliumlektoets (terugdrukmetode)

 

Voordele bo polimeer O-ringe:

  • · Weerstaan ​​800°C vs. <300°C vir FFKM
  • · Geen uitgassing — geen besoedeling van die vakuumomgewing nie
  • · Bestand teen alle plasma-chemikalieë (fluoor, chloor, suurstof)
  • · Geen kompressie of permanente vervorming nie
  • · Onbeperkte dienslewe in skoon omgewings


Beperkings (Kritiese Opmerkings):

  • · Nie 'n O-ring nie— dit is 'n stewige keramiekring wat 'n sagte pakking (koper, aluminium of grafiet) benodig om te verseël.
  • · Maak nie voorsiening vir dinamiese beweging of groot flenswanbelyning nie.
  • · Hoër aanvanklike koste as polimeer O-ringe, maar langer leeftyd verminder koste van eienaarskap.
  • · Bros — hanteer versigtig; vermy puntimpak of buigspanning.

 

Let wel:Die bogenoemde data volg streng die verskafde Al₂O₃-eienskapstabel. Geen data vir elastomere materiale is verskaf nie. Hierdie produk is 'n statiese seëlring, nie 'n elastomere O-ring nie. Bevestig asseblief of dit aan u toepassingsvereistes voldoen.


  • Vorige:
  • Volgende: