Alumina Keramiek Eindeffektor met Geïntegreerde Vakuumkanale
St.Cera se alumina-vakuum-eindeffektor integreer presisie-bewerkte vakuumkanale en suiggate direk in die 99.8% hoë-suiwerheid alumina-liggaam. Hierdie ontwerp elimineer eksterne vakuumkussings, wat direkte wafer-optel met eenvormige houkrag moontlik maak. Die materiaal se hoë buigsterkte (361 MPa) en hardheid (16 GPa) verseker langtermyn-dimensionele stabiliteit onder herhaalde vakuumsiklusse. Platheid oor die kussingarea word binne 10 μm gehandhaaf, wat waferspanning en -breking voorkom. Vakuumpoorte is by die agterste monteringsflens geleë vir maklike integrasie met OEM-robotarms.
Spesifikasies(gebaseer op 99.8% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Young se Modulus | 380 GPa |
| Termiese Uitbreiding | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Pad Platheid | ≤10 μm |
| Vakuumkanaalbreedte | 0.5–2.0 mm |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 800°C |
Toepassings:
● Vakuumopname van dun of kromgetrekte wafers
● Direkte waferhantering sonder randgreep
● Sonsel- en LED-substraatoordrag
Vervaardiging:
Gesinterde alumina-blanko → 5-as CNC-boor van vakuumkanale en -gate → oppervlakoorlapping → ultrasoniese skoonmaak → heliumlektoets. Elke effektor is 100% vloeigetoets vir vakuumuniformiteit.
Voordele:
● Geen eksterne vakuumkussings nie (verminder deeltjiebronne)
● Eenvormige houdruk verhoed wafermerkies
● Chemies inert en skoonkamerversoenbaar
