-
ST.CERA Pasgemaakte halfgeleiertoerusting Keramiek-klauwplate
Die kritieke proses van die halfgeleierveld moet in skoonkamers gedoen word, veral vir toestelle wat onder toestande van hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gasse gebruik moet word. Keramiek kan hoë stabiliteit in ingewikkelde fisiese en chemiese omgewings handhaaf.
-
ST.CERA Aangepaste halfgeleiertoerusting Keramiekplaat
Die kritieke proses van halfgeleierveld moet in skoonkamers gedoen word, veral vir toestelle wat onder toestande van hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gasse gebruik moet word. Keramiek kan hoë stabiliteit in ingewikkelde fisiese en chemiese omgewings handhaaf.
-
ST.CERA Aangepaste halfgeleier Keramiek fokusring
Die kritieke proses van die halfgeleierveld moet in skoonkamers gedoen word, veral vir toestelle wat onder toestande van hoë temperatuur, vakuum en korrosiewe gasse gebruik moet word. Keramiek kan hoë stabiliteit in ingewikkelde fisiese en chemiese omgewings handhaaf.
-
ST.CERA Aangepaste 99.5% Alumina Keramiek Laaierarm
Die keramiese eindeffektor / hanteringsarm word op 'n waferhanteringsrobot of "eindeffektors" geïnstalleer en word gebruik om silikonwafers in of uit kassette of proseskamers te dra.
Die voordele van die gebruik van keramiek is die vermindering van defleksie as gevolg van hoë buigsterkte, weerstand teen hoë temperature, en die eliminasie van metaalbesoedeling en deeltjies. -
ST.CERA Aangepaste Alumina Keramiek Eindeffektor
ST.CERA bied ESD-laag en ESD-keramiekmateriaal Eindeffektor. Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoëtemperatuursintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste Halfgeleier Keramiek Fokusring
Die keramiekonderdele, wat van hoë-suiwerheid (bo 99.5%) alumina-keramiek gemaak word, gevorm word deur koue isostatiese persing en gesinter word onder hoë temperatuur, dan presisie bewerk en gepoleer word, kan aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasieweerstand, korrosiebestandheid, lae termiese uitbreiding en isolasie.
Met kenmerke van hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, skuurbestandheid en isolasie, kan keramiek vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk met toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste Halfgeleier Presisie Alumina Keramiek Bushing
Die keramiekonderdele, wat van hoë-suiwerheid (bo 99.5%) alumina-keramiek gemaak word, gevorm word deur koue isostatiese persing en gesinter word onder hoë temperatuur, dan presisie bewerk en gepoleer word, kan aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasieweerstand, korrosiebestandheid, lae termiese uitbreiding en isolasie.
Met kenmerke van hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, skuurbestandheid en isolasie, kan keramiek vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk met toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste Alumina Keramiek Vakuum Eindeffektor
Dit is 'n baktipe keramiek Eindeffektor / Hanteringsarm wat onder vakuumtoestande gebruik word.
Die keramiese eindeffektor / hanteringsarm is "meer hittebestand", "minder deflektief" en "ligter" in gewig in vergelyking met die metaalarms.
Met kenmerke van hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, skuurbestandheid en isolasie, kan keramiek vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk met toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste 99.5% Alumina Keramiekbuise en Keramiekstawe
Met kenmerke van hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, skuurbestandheid en isolasie, kan keramiek vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk met toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
-
ST.CERA Aangepaste Alumina Keramiek Eindeffektor Waferhantering
ST.CERA bied ESD-laag en ESD-keramiekmateriaal Eindeffektor / Hanteringsarm met 'n ingeboude hol kanaal. Ons spesialiseer in 'n tegniek wat 'n vakuumlugkanaal binne 'n enkele stuk materiaal vorm sonder om kleefmiddel te gebruik.
Daar is geen risiko van kontaminant, uitgassing of deeltjies nie. ST.CERA se vakuum-eindeffektor / hanteringsarm met spesiale bedekkingstegnologie is elektries geïsoleer. Ons kan ook ESD-keramiekmateriaal verskaf wat elektries geïsoleer is sonder enige bedekking.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃. -
Alumina Keramiek Eindeffektor Halfgeleier Toerusting Komponente
Voorkom die deeltjies wat kan ontstaan vanaf die skuins of hoekige rande en die agteroppervlak terwyl wafers vervoer word of in kontak is met die eindeffektor / hanteringsarm.
Vir die gidse is 'n sagte materiaal aangeneem wat nie die wafer beskadig nie.
Verdunning is moontlik met ST.CERA se ingeboude vakuumkanaaltegnologie wat geen kleefmiddels gebruik nie.
Dit is moontlik om monteringsgate te maak en die lengte en breedte van die basis te verander waar die eindeffektor / hanteringsarm op die robot gemonteer is.
Montering van sensors, skroewe en hakies is as 'n opsie beskikbaar.
Ontwerp om in atmosfeer gebruik te word.
-
Aangepaste CNC-bewerking van St.Cera Keramiek Eindeffektor
ST.CERA bied 'n vakuumkeramiek-eindeffektor / hanteringsarm met 'n ingeboude hol kanaal. Ons spesialiseer in 'n tegniek wat 'n vakuumlugkanaal binne 'n enkele stuk materiaal vorm sonder om kleefmiddel te gebruik.
Daar is geen risiko van kontaminant, uitgassing of deeltjies nie. ST.CERA se vakuum-eindeffektor / hanteringsarm met ingeboude kanaal is duursaam en kan by hoë temperature gebruik word. Boonop kan ons vervaardigingskoste verminder word deur onnodige montering uit te skakel.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
