Dit is 'n baktipe keramiek Eindeffektor / Hanteringsarm wat onder vakuumtoestande gebruik word.
Die keramiese eindeffektor / hanteringsarm is "meer hittebestand", "minder deflektief" en "ligter" in gewig in vergelyking met die metaalarms.
Met kenmerke van hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, skuurbestandheid en isolasie, kan keramiek vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk met toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.
Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.
