ST.CERA Pasgemaakte Hoë-Presisie Halfgeleier Toerusting Keramiek Chuck

Kort beskrywing:

Gevorm deur koue isostatiese persing en gesinter onder hoë temperatuur, dan presisie-bewerk en gepoleer, kan die keramiek-onderdele aan enige streng vereistes van halfgeleiertoerusting voldoen met sy eienskappe van slytasiebestandheid, korrosieweerstand, lae termiese uitsetting en isolasie. Keramiek kan vir 'n lang tyd in baie soorte halfgeleierproduksietoerusting werk onder toestande van hoë temperatuur, vakuum of korrosiewe gas.

Gemaak van hoë-suiwerheid aluminapoeier, verwerk deur koue isostatiese persing, hoë temperatuur sintering en presisie-afwerking, kan dit die dimensietoleransie van ±0.001 mm bereik, oppervlakafwerking Ra 0.1, temperatuurweerstand 1600 ℃.