Silikonkarbied (SiC) Keramiek Eindeffektor – Hoë Styfheid vir Hoëtemperatuur-Waferhantering
St.Cera se SiC-keramiek-eindeffektor word vervaardig van hoë-suiwerheid silikonkarbied (SiC-inhoud 99.72%, vry Si 0.05%) met behulp van die S1111-mengselmateriaal. Dit bied uitsonderlike meganiese eienskappe: buigsterkte 449 MPa (gemeet), elastiese modulus 457 GPa (gemeet), en Vickers-hardheid 25–28 GPa (tipies). Die lae digtheid (3.10–3.15 g/cm³, tipies) bied 'n hoë spesifieke styfheid, ideaal vir hoëspoed-wafer-oordragrobotte. Met termiese geleidingsvermoë van 120–150 W/m·K (tipies) en termiese uitbreidingskoëffisiënt van 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (tipies), versprei hierdie eindeffektor hitte effektief en handhaaf dimensionele stabiliteit tydens hoëtemperatuurhantering (tot 1600–1700°C, geen las nie). Die swart/grys kleur en geen waterabsorpsie verseker skoonkamer-versoenbaarheid.
Spesifikasies(gebaseer op die verskafde SiC S1111-toetsverslag en tipiese waardes)):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | SiC (99.72% SiC, 0.05% Vrye Si) |
| Kleur | Swart/Grys |
| Digtheid | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Waterabsorpsie | 0% |
| Buigsterkte | 449 MPa (gemiddeld) |
| Breuktaaiheid | 3.12 MPa·m¹/² (gemiddeld) |
| Elastiese Modulus | 457 GPa |
| Vickers Hardheid | 25–28 GPa |
| Termiese geleidingsvermoë (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Maksimum gebruikstemperatuur (geen lading) | 1600–1700°C |
Toepassings:
● Hoëtemperatuur-waferhantering (na-uitgloeiing, RTP, epitaksie)
● Plasma-etskamers wat hoë erosiebestandheid vereis
● Hoëspoed-oordragrobotte (liggewig, hoë styfheid)
Vervaardiging:
SiC-poeiersintering → presisie-CNC-slyp van armprofiel en monteringskenmerke → oppervlakoorlapping → ultrasoniese skoonmaak. 100% dimensionele inspeksie en heliumlektoets vir vakuumtoepassings.
Gehaltebeheer:
● CMM-inspeksie van lengte, breedte en platheid
● Buigsterktetoets per bondel (volgens toetsverslagstandaard)
● Visuele inspeksie onder 'n mikroskoop vir oppervlakdefekte
Voordele bo alumina of metaal:
● 2× hoër elastiese modulus (457 teenoor ~380 GPa vir alumina) – minder defleksie
● 3x hoër termiese geleidingsvermoë – vinniger hitteverspreiding
● Weerstaan >1600°C teenoor alumina se 800°C in lug
● Laer digtheid as staal – 40% gewigsvermindering
Aanpassing:
Lengtes 150–450 mm, puntvorms (randgreep, Bernoulli, plat), monteringsflenspatrone volgens OEM-tekening.
*Alle meganiese data hierbo kom van die verskafde toetsverslag (bondel S1111). Termiese en hardheidswaardes is tipies vir hierdie SiC-graad; kontak ons asseblief vir lotspesifieke sertifisering.*
