Hoë-suiwerheid Alumina Keramiek Robotarm vir Waferhantering
St.Cera se alumina-keramiek-robotarm is presisie-ontwerp van 99.8% hoë-suiwerheid Al₂O₃ (alumina). Dit kombineer uitsonderlike buigsterkte (361 MPa), hoë hardheid (16 GPa) en lae digtheid (3.93 g/cm³), wat lei tot 'n liggewig maar stewige arm vir halfgeleier-waferoordrag. Die materiaal se termiese uitbreidingskoëffisiënt (7.2×10⁻⁶/°C) pas nougeset by silikon, wat termiese wanverhouding tydens verwerking tot die minimum beperk.
Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃):
| Eiendom | Waarde |
| Kleur | Ivoor |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Young se Modulus | 380 GPa |
| Termiese geleidingsvermoë | 32 W/m·k |
| Termiese Uitbreiding | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Diëlektriese Sterkte | 15×10⁶ V/m |
Toepassings:
- Vakuumwafer-oordragrobotte (200mm/300mm)
- Atmosferiese hanteringstelsels
- Eindeffektorarms vir FAB-outomatisering
Vervaardigingsproses:
Isostatiese persing → groen bewerking → sintering teen 1600°C → CNC-presisiemaal → ultrasoniese skoonmaak → Klas 100 skoonkamerverpakking. Elke arm word 100% deur CMM geïnspekteer vir platheid (±0.01 mm) en oppervlakruheid (Ra ≤0.4 μm).
Gehaltebeheer:
St.Cera is ISO 9001:2015-gesertifiseerd. Ons voer kleurstofpenetrasietoetse vir mikrokrake, driepuntbuiging vir buigsterkte en diëlektriese sterktetoetse volgens ASTM D149 uit.
Voordele bo metaalarms:
- 50% ligter as vlekvrye staal
- Geen galvaniese korrosie nie
- Laer deeltjiegenerering (≤0.05 deeltjies/cm²)
- ESD-veilige laag beskikbaar (10⁶–10⁹ Ω/vk)
Aanpassing:
Lengtes van 150 mm tot 450 mm, puntvorms (randgreep, Bernoulli, vakuum), en monteerflenspatrone volgens OEM-tekeninge. Prototipes binne 2 weke.
Vir grootmaatbestellings, versoek asseblief 'n kwotasie.
