Grootformaat Alumina Keramiekplaat vir Halfgeleier- en Industriële Toebehore
St.Cera vervaardig grootformaat keramiekplate van 99.8% hoë-suiwerheid alumina (Al₂O₃) met maksimum afmetings tot 1500 mm in lengte en 600 mm in breedte. Ons presisie-slypvermoëns bereik 'n platheid van 0.003 mm oor 100 mm en parallelisme van 0.002 mm, wat 'n konsekwente oppervlakkwaliteit vir groot-area toepassings verseker. Dikte tot 100 mm, oppervlakafwerking tot Ra0.1. Hierdie plate dien as vakuum-klauwplaatbasisse, verwarmerplate, elektriese isolasiepanele en proseskamervloere in halfgeleier-, vertoon- en fotovoltaïese vervaardiging. Deurgate, teenborings en randprofilering is beskikbaar.
Spesifikasies (gebaseer op 99.8% Al₂O₃& St.Cera vervaardigingsvermoëns):
| Eiendom | Waarde |
| Materiaal | 99.8% Alumina (Ivoor) |
| Digtheid | 3.93 g/cm³ |
| Buigsterkte | 361 MPa |
| Vickers Hardheid | 16 GPa |
| Diëlektriese Sterkte | 15×10⁶ V/m |
| Maksimum lengte | 1500mm |
| Maksimum Breedte | 600mm |
| Maksimum Dikte | 100mm |
| Platheid (per 100 mm) | 0.003mm |
| Parallelisme | 0.002mm |
| Oppervlakafwerking | Ra0.1 (gepoleer/gelapp) |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 1600°C |
Toepassings:
- · Vakuum-klembasisplate vir groot wafers en panele
- · Verwarmerplate vir termiese verwerkingstoerusting
- · Elektriese isolasiepanele in hoëspanningstelsels
- · Proseskamervloere en voeringplate
Vervaardigingspresisie:
Reguitheid: 0.005 mm, loodregte lengte: 0.005 mm, geverifieer met laserinterferometer.
Voordele bo metaalplate:
- · Geen metaalbesoedeling nie – krities vir halfgeleierprosesse
- · Geen uitgassing – ideaal vir vakuumomgewings
- · Uitstekende slytasie- en chemiese weerstand
Aanpassing:
Pasgemaakte gatpatrone, randprofiele, trapoppervlakke en gemetalliseerde monteringsareas beskikbaar.
