Gekombineer met die omvattende werkverrigtingvoordele van tradisionele Al2O3- en BeO-substraatmateriale, aluminiumnitride(AlN)-keramiek, wat hoë termiese geleidingsvermoë het (monokristal se teoretiese termiese geleidingsvermoë is 275W/m▪k，polycrystal se teoretiese termiese geleidingsvermoë is 0~2107k ), lae diëlektriese konstante, termiese uitsettingskoëffisiënt wat ooreenstem met enkelkristal silikon, en goeie elektriese isolasie eienskappe, is 'n ideale materiaal vir stroombaan substrate en verpakking in die mikro-elektroniese industrie.Dit is ook 'n belangrike materiaal vir hoë temperatuur strukturele keramiek komponente as gevolg van die goeie hoë temperatuur meganiese eienskappe, termiese eienskappe en chemiese stabiliteit.
Die teoretiese digtheid van AlN is 3.26g/cm3, die MOHS-hardheid is 7-8, die kamertemperatuurweerstand is groter as 1016Ωm, en die termiese uitbreiding is 3.5×10-6/℃ (kamertemperatuur van 200℃).Suiwer AlN-keramiek is kleurloos en deursigtig, maar hulle sal verskillende kleure wees soos grys, gryswit of liggeel, as gevolg van die onsuiwerhede.
Benewens hoë termiese geleidingsvermoë, het AlN-keramiek ook die volgende voordele:
1. Goeie elektriese isolasie;
2. Soortgelyke termiese uitsettingskoëffisiënt met silikon monokristal, beter as materiale soos Al2O3 en BeO;
3. Hoë meganiese sterkte en soortgelyke buigsterkte met Al2O3-keramiek;
4. Matige diëlektriese konstante en diëlektriese verlies;
5. In vergelyking met BeO, word die termiese geleidingsvermoë van AlN-keramiek minder deur temperatuur beïnvloed, veral bo 200℃;
6. Hoë temperatuur weerstand en korrosie weerstand;
7. Nie-giftig;
8. Word toegepas op halfgeleier-industrie, chemiese metallurgie-industrie en ander industriële velde.
Pos tyd: Jul-14-2023